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新機來襲!德國非接觸方塊電阻測試儀樣機預(yù)約體驗

更新時間:2026-01-07 點擊次數(shù):37

新機來襲!德國非接觸方塊電阻測試儀樣機預(yù)約體驗


EddyCus® lab 2020 系列方塊電阻測試儀樣機是一款臺式實驗系統(tǒng),它采用渦流技術(shù),替代四探針方案,用于非接觸式單點測量導(dǎo)電薄膜的金屬層厚度和方塊電阻。它能夠快速、精確地測量zui大200 x 200 mm2(8 x 8英寸)樣品,并支持多種材料,包括薄金屬層、晶圓和導(dǎo)電聚合物等材料。


非接觸式單點方塊電阻測試儀提供了一種現(xiàn)代、無接觸的傳統(tǒng)四點探頭(4PP)及其他接觸式測量方法的替代方案。無需物理接觸,無需表面準備,且不受封裝或表面粗糙度的影響。


lab 2020 系列方塊電阻測試儀能夠測量多個參數(shù)。方塊電阻與金屬層厚度、發(fā)射率和電阻率相關(guān)。只要材料性質(zhì)明確,所有這些參數(shù)都可以高精度測量。



測量參數(shù):

  • 金屬厚度(nm, um)

  • 方塊電阻(Ohm/sq)

  • 發(fā)射率

  • 電導(dǎo)率/電阻率(mOhm·cm)

  • 電各向異性(%)

  • 重量 (g/m’) 和烘干狀態(tài) (%)

  • 滲透性(H/m) Beta



四探針傳統(tǒng)方法對比


對比維度四探針測試非接觸電渦流測試(EddyCus)


方案

接觸方式觸點式測量,觸點質(zhì)量影響結(jié)果非接觸式,實時無損
測量范圍單點測量,部分支持Mapping成像高分辨率Mapping成像,支持在線過程控制
對樣品影響可能損壞敏感面,無法測量封裝后薄膜對敏感膜無傷害或偽影,可測封裝膜層和多層膜系統(tǒng)
測量類型僅支持單點方塊電阻測試支持多種膜層與系統(tǒng)測量
探頭耐久性探頭隨時間磨損無磨損,使用壽命長
適用場景適用于部分簡單薄膜測量適用于觸摸型敏感層及多層膜系統(tǒng)等精密場景



Mapping圖


應(yīng)用場景


導(dǎo)電薄膜


觸摸面板


導(dǎo)電紡織品


智能玻璃


電池電極


各類晶圓等


樣機設(shè)備適配參數(shù)



基板面積8 inch / 204 mm × 204 mm(三面開放)
zui大樣本厚度 / 傳感器間隙3 / 5 / 10 / 25 mm(由zui厚的樣本確定)
方阻范圍0.001 – 3,000 Ω/sq
方阻準確性/偏差±1 – 3%
方阻重復(fù)性 (2σ)<0.3 – 3%



金屬厚度范圍與精度

低:1 – 10 nm;精度 2 – 5 %
標準:10 – 1,000 nm;精度 1 – 3 %
高:1 – 100 μm;精度 0.5 – 3 %
(精度受設(shè)置及金屬類電導(dǎo)率影響)


電阻率測量

3 mm線圈:1 – 100 mΩ·cm;精度 < 3%,重復(fù)性 < 0.3%
9 mm線圈:1 – 1,000 mΩ·cm;精度 < 5%,重復(fù)性 < 2%


薄層電阻測量

3 mm線圈:0.01 – 10 Ω/sq;精度 1 – 3%,重復(fù)性 < 1%
9 mm線圈:0.01 – 100 Ω/sq;精度 < 3%,重復(fù)性 < 0.3%
設(shè)備尺寸(寬 × 高 × 深)11.4" × 5.5" × 17.5" / 290 mm × 140 mm × 445 mm
設(shè)備重量10 kg



設(shè)備控制和軟件









上海昊量光電是德國EddyCus® lab 2020 系列的中國代理商,新引進的方塊電阻測試儀樣機現(xiàn)已開放預(yù)約!誠邀各領(lǐng)域研發(fā)、質(zhì)檢與生產(chǎn)單位參與體驗,親身體驗非接觸式測量的精準與高效。
體驗時間:即日起至2026年2月10日

體驗形式:寄樣測試(上門測試限部分地區(qū))

 


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